等離子源系統

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~300W可調

真空系統

真空腔體

材質

石  英

腔體內部尺寸

Φ250 * Dept.260（直徑*深mm)

腔體容積

12 L

處理最大尺寸

8英寸

泵

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質量流量計

＜±1% FS

氣路控制

4路處理氣體氣路，氣體流量可調

極限真空

5Pa

流量范圍

0-500SCCM（可調）

工藝氣體

Ar、CF4、N?O?等等（可選）

控制系統

1、PLC 自動控制；

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；

3、配方程序為 0~99；

4、多級權限操作；

5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息；

6、存儲工藝數據及錯誤信息；

7、報警信息提示及追溯；

8、圖形化界面檢測處理參數；

9、自動、手動操作可切換；

10、維護提示緊急停止按鈕；

11、門感應器和真空互鎖；

12、機器運行信號指示；

13、機器運行結束提示；

外觀參數

外形尺寸(MM)

750*450*500(寬高深）

重    量

55KG

設施配置

電      力

單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。

壓縮空氣

無

其      它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單.

質保、售后服

務和技術支持

質      保

一年免費的維保和備件免費更換

技術支持

接到設備故障通知1個小時內提供遠程技術支持，對遠程無法定位解決的問題，提供現場維修服務

培      訓

設備正式試用前，提供完整、免費的技術培訓