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產品型號：JL-VM150
設備功能：對材料表面進行清洗，活化改性，去除有機物，去除氧化物，去除微小顆粒；提升親水性，增強粘接性，附著力，分子活性。
產品用途：
1、金屬、玻璃、橡膠、高分子材料、PCB、PTFE等材料表面的清潔、處理，增強親水性、粘接力。
2、清潔和表面活化，改善表面浸潤性。
技術參數：
型 號
JL-VM150
等離子源系統
頻 率
13.56MHz 射頻
40KHz 中頻
功 率
0~1000W可調
0-5000W可調
選配
真空系統
真空腔體
材質
316L不銹鋼、航空鋁（選配）
腔體內部尺寸(MM)
500*600*500（寬高深)
極板有效尺寸(MM)
460*450 （寬*深)
極板
17層，水平式，活動可調節
腔體容積
150L
密封性
軍工級焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）
真空管路
不銹鋼管、不銹鋼波紋管
真空計
1×105~1×10-1Pa
質量流量計
＜±1% FS
氣路控制
2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調
極限真空
5Pa
適用氣體
流量范圍
0-500SCCM（可調）
工藝氣體
Ar、N?、O?、H?等等（可選）
外觀參數
外形尺寸(MM)
850*1700*1020(寬高深）
重 量
700KG
設施配置
電 力
五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定
聯系方式：
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